EUV Lithography

Düse der Zinn-Tröpfchenquelle, aus der eine Kette geschmolzener Metalltröpfchen fällt, violett-goldenes Gehäuse

Kühldüsen besprühen eine glühende, gebogene Metallkante mit feinem Nebel, Funken fliegen durch den Dampf

Ein Laser trifft ein fallendes Zinntröpfchen und formt es zu einer glühenden Plasmascheibe, die EUV-Licht abstrahlt

Nahaufnahme der Plasmazündung — ein heller Licht- und Funkenausbruch dort, wo der Laser auf das Tröpfchen trifft, innerhalb der Vakuumkammer

Innenraum der Optikkammer, ein Laserstrahl springt zwischen einer Reihe großer gewölbter Spiegel hin und her

Ein Siliziumwafer unter einem Lichtkegel auf dem Scanner-Tisch, Chip-Dies schimmern in Regenbogenfarben

Extreme Nahaufnahme einer Wafer-Oberfläche, ein Raster aus Chip-Dies in changierendem Blau, Grün und Bernstein

Mikroskopische Ansicht von Chip-Kontakten, Reihen von Metallkontakten mit goldenen Lötpunkten

Nahaufnahme geätzter Chip-Strukturen, graue Gräben mit goldbeschichteten Kontaktpunkten